2025/08/01
紐格爾:中空減速機在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用,精密傳動,賦能芯片制造
在半導(dǎo)體制造這一高精度、高潔凈度的工業(yè)領(lǐng)域,每一個零部件的性能都直接影響著整機設(shè)備的穩(wěn)定性與工藝精度。中空減速機,作為精密傳動系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件,憑借其獨特的結(jié)構(gòu)設(shè)計與卓越的傳動性能,正廣泛應(yīng)用于晶圓傳送、機械臂控制、刻蝕與沉積設(shè)備等各類半導(dǎo)體制造裝備中,成為推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高精度、更高效能發(fā)展的核心技術(shù)之一。
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